先進材料與
零件應用開發
日本精密陶瓷株式會社
金屬陶瓷複合材料MMC
Application:
散熱元件, Vaccum Chuck
Wafer robot finger (Fork)
Glass robot arm / 震動衰減性
真空吸盤 Vacuum Chuck
產品設計改造升級
新品製作開發 SiC Chuck
雷射加工真空吸盤
晶圓低接觸Chuck / Pin Chuck
晶圓無接觸真空吸盤
晶圓薄片傳送載盤 for wapage wafer
特殊材枓部件:
結構陶瓷及石英零件
高純度陶瓷 CVD製程
工程先進材料 : 碳化矽, 氧化鋁, 藍寶石, 氮化鋁, 氮化矽
Sapphire Tube
特殊光源及光學鏡片:
紫外線燈 UV Lamp
準分子燈 172nm
Sapphire window
CaF2 / MgF2 Optics
Optics system design
Lambda Physik Thyratron
Lambda Physik Thyratron
Used LP4189 for Excimer Laser
Used HVPS for Laser
Used HVPS for Laser
LC1202 Series
Used Excimer Laser
Used Excimer Laser
Exciemr Laser system