日本精密陶瓷株式會社
金屬陶瓷複合材料MMC
Application:
散熱元件, Vaccum Chuck
Wafer robot finger (Fork)
Glass robot arm / 震動衰減性
真空吸盤 Vacuum Chuck
產品設計改造升級
新品製作開發 SiC Chuck
雷射加工真空吸盤
晶圓低接觸Chuck / Pin Chuck
晶圓無接觸真空吸盤
晶圓薄片傳送載盤 for wapage wafer
特殊材枓部件:
結構陶瓷及石英零件
高純度陶瓷 CVD製程
工程先進材料 : 碳化矽, 氧化鋁, 藍寶石, 氮化鋁, 氮化矽
Sapphire Tube
特殊光源及光學鏡片:
紫外線燈 UV Lamp
準分子燈 172nm
Sapphire window
CaF2 / MgF2 Optics
Optics system design
Used LP4189 for Excimer Laser
LC1202 Series
Exciemr Laser system