準分子雷射

技術維修服務

GaN LED Lift Off

系統維修

Lambda Physik

雷射系統維修

Lambda Physik

雷射腔體整新

Lambda Physik

Lambda Steel

銓宸科技有限公司 提供服務於準分子雷射系統維修, 整新, 移機服務及客戶需求之準分子雷射技術服務. 在台灣本地建立無塵室研發實驗室及維修廠. 備有準分子雷射系統零件安全庫存備料. 可整新波長有193nm, 248nm, 308nm等常用準分子雷射.

在市埸需求下, 研發團隊率先開發客戶所需之零組件, 經我司多年研發經驗於各式金屬與陶瓷材料, 加工技術, 覆合材料及雷射光學等級鏡片等, 整合技術, 及導入最新技術應用於準分子雷射系統, 以供市場雷射維護之需求

雷射產品維修技術開發, 在台灣在地化成功開發產品, 達成客戶所需之高技術含量產品與服務, 於產品開發成熟同時也進入海外國際市場, 包含有日本,韓國,中國,新加坡等, 在地服務據點, 提供即時應對服務.

Beam Shutter

TDK Lambda LC1202L

COHERENT KEBA HHT 控製器維修

雷射維護測試

技術服務項目:

  • 準分子雷射系統保養及維修服務

  • 準分子雷射系統重整翻新改造

  • 準分子雷射系統系統移機

  • 準分子雷射系統設備零件耗材銷售

  • 客製零組件開發專案

準分子雷射維修型號波長:

193nm, 248nm, 308nm


2017通過ISO 9001 高壓電源供應器維修認証

HVPS Repair ISO9001:2015/CNS 12681

Registration Number: 17QMA31224

  • 準分子雷射零組件維修品項:

  • Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)

  • Output Coupler Lens (HR/OC Lens)

  • Laser beam shutter and PCB

  • Laser beam dump

  • Communication Box

  • High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda ALE EMI LC1202L / XR402 / 802S)

  • Gas module

  • Circulation motor controller

  • Cryopump / Gas Purify Unit (GP CRYO)

  • Hand-Held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50


其他各式組件:

  • Ultra 10 workstation

  • Optics, Lens A / B / C

  • ASML, NIKON, CANON parts improvement