技術服務項目: 

• 準分子雷射系統保養及維修服務

• 準分子雷射系統重整翻新改造

• 準分子雷射系統系統移機

• 準分子雷射系統設備零件耗材銷售

• 客製零組件開發專案

準分子雷射維修型號波長:

193nm, 248nm, 308nm

2017通過ISO 9001 高壓電源供應器維修認証

HVPS Repair ISO9001:2015/CNS 12681

Registration Number: 17QMA31224

• 準分子雷射零組件維修品項:

• Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)

• Output Coupler Lens (HR/OC Lens)

• Laser beam shutter and PCB

• Laser beam dump

• Communication Box

• High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda ALE EMI LC1202L / XR402 / 802S)

• Gas manifold module

• Circulation Fan motor controller

• Cryopump / Gas Purify Unit (GP CRYO)

• Hand-Held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50

其他各式組件:

• Laser Control Workstation

• Optics, Lens 

• Hydrogen Thyratrons LP-4189 A/B

• Lambda Physik / COHERENT parts improvement