準分子雷射

技術維修服務

LED Lift Off

系統維修

Lambda Physik

雷射系統維修

Lambda Physik

雷射腔體整新

Lambda Physik

Lambda Steel

銓宸科技提供服務於準分子雷射系統維修, 整新, 移機服務及客戶需求之雷射技術. 在台灣本地建立無塵室研發實驗室及維修廠. 備有準分子雷射系統零件安全庫存備料.

在市埸需求下, 研發團隊率先開發客戶所需之零組件, 經我司多年研發經驗於各式材料, 加工技術, 覆合材料等, 整合技術, 及導入最新技術應用於準分子雷射系統, 以供市場雷射維護之需求

Beam Shutter

TDK Lambda LC1202L

COHERENT KEBA HHT 控製器維修

雷射維護測試

技術服務項目:

  • 準分子雷射系統保養及維修服務

  • 準分子雷射系統重整翻新改造

  • 準分子雷射系統系統移機

  • 準分子雷射系統設備零件耗材銷售

  • 客製零組件開發專案

2017通過ISO 9001 高壓電源供應器維修認証

HVPS Repair ISO9001:2015/CNS 12681

Registration Number: 17QMA31224

  • 準分子雷射零組件維修品項:

  • Excimer Laser Discharge Chambers (LDU)

  • Output Coupler Lens (OC Lens)

  • Laser beam shutter and PCB

  • Laser beam dump

  • High Voltage Power Supply Repair (TDK Lambda LC1202L)

  • Gas module

  • Blower motor controller

  • Cryopump / Gas Purify Unit (GP)

  • Hand-held Terminal (HHT) / Keba KeTop C50


其他各式組件:

  • Ultra 10 workstation

  • Optics, Lens A / B / C

  • ASML, NIKON, CANON parts improvement